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          SMC高真空閥,SMC電磁閥,日本SMC

          簡(jiǎn)要描述:SMC高真空閥,SMC電磁閥,日本SMC
          在半導(dǎo)體制造過(guò)程中,腐蝕裝置、噴鍍裝置,離子注入裝置和CVD裝置等許多部分,都要把芯片和液晶基板放在真空室內(nèi)處理,該真空
          室供氣、排氣(真空)用閥,要求它們無(wú)泄漏、耐腐蝕且是潔凈規(guī)格。

          • 產(chǎn)品型號(hào):VQ5150-5G1
          • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
          • 更新時(shí)間:2025-07-08
          • 訪  問(wèn)  量:3198

          詳細(xì)介紹

          SMC高真空閥,SMC電磁閥,日本SMC
          兩種常見(jiàn)連接形式:

          活套法蘭連接
          這是閥門中用得多的連接形式。按結(jié)合面形狀又可分為以下幾種:
          1)光滑式:用于壓力不高的閥門。加工比較方便。
          2)凹凸式:工作壓力較高,可使用中硬墊圈。
          3)榫槽式:可用塑性變形較大的墊圈,在腐蝕性介質(zhì)中使用較廣泛,密封效果較好。
          4)梯形槽式:用橢圓形金屬環(huán)作墊圈,使用于工作壓力≥64公斤/平方厘米的閥門,或高溫閥門。
          5)透鏡式:墊圈是透鏡形狀,用金屬制作。用于工作壓力≥100公斤/平方厘米的高壓閥門,或高溫閥門。
          6)O形圈式:這是一種較新的法蘭連接形式,它是隨著各種橡膠O形圈的出現(xiàn),而發(fā)展起來(lái)的,它在密封效果上比一般平墊圈可靠。

          產(chǎn)品樣本:


          螺紋連接
          這是一種簡(jiǎn)便的連接方法,常用于小閥門。又分兩種情況:
          1)直接密封:內(nèi)外螺紋直接起密封作用。為了確保連接處不漏,往往用鉛油、線麻和聚四氟乙烯生料帶填充;其中聚四氟乙烯生料帶,使用日見(jiàn)廣泛;這種材料耐腐蝕很好,密封效果,使用和保存方便,拆卸時(shí),可以完整地將其取下,因?yàn)樗且粚訜o(wú)粘性的薄膜,比鉛油、線麻得多。
          2)間接密封:螺紋旋緊的力量,傳遞給兩平面間的墊圈,讓墊圈起密封作用。
          小型&大容量
           設(shè)置容積減少42%、設(shè)置面積減少26%
           VQ4000可驅(qū)動(dòng)缸徑為Φ160的氣缸
           VQ5000可驅(qū)動(dòng)缸徑為Φ180的氣缸
          ●省電 消耗電力:0.4W(低功率型)
          ●壽命長(zhǎng):1億次(根據(jù)本公司條件)

          SMC高真空閥,SMC電磁閥,日本SMC


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