測定方法：

①在防靜電的室內(nèi)(丙烯樹脂制、不銹鋼制)設(shè)置氣缸

②提供與顆粒計(jì)數(shù)器吸入量（28.3/min）相同流量的潔凈空氣（0.1μm過濾器）

③在不動作狀態(tài)，確認(rèn)顆粒計(jì)數(shù)器的值為“0”

④使氣缸動作,測量動作中產(chǎn)生的顆粒

※使用帶密封的測試室,以確保除氣缸發(fā)塵外,其他的顆粒不進(jìn)入室內(nèi)

測定條件：

空氣

氣缸驅(qū)動用：「等2.2.1」（JISB8392－1）

凈化用：「等2.2.1」＋0.1μｍ氣體過濾器

氣缸供應(yīng)壓力：0.5MPa

氣缸動作速度：一般速度（200mm/s）

動作條件：無負(fù)荷、水平設(shè)置（與凈化流量平行）

         對排氣處理型的溢流氣口配管，排放到測試室外

         對真空除塵型的真空除塵氣口配管，進(jìn)行真空除塵（－26KPa）